長(zhǎng)三角聯(lián)合攻關(guān)前沿“硬科技”

　　跨區(qū)域“加好友” 瞄準(zhǔn)“科創(chuàng)+產(chǎn)業(yè)”

　　長(zhǎng)三角聯(lián)合攻關(guān)前沿“硬科技”

　　近日，在蘇北某礦坑形成的近200米深的湖泊中，一臺(tái)無人潛航器正在水底進(jìn)行地形勘測(cè)、目標(biāo)搜索等任務(wù)。這是江蘇集萃清聯(lián)智控科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱“清聯(lián)智控”)、上海某企業(yè)、天津大學(xué)聯(lián)合研發(fā)的“深海探測(cè)機(jī)器人”進(jìn)行湖試的一幕。今年內(nèi)，該機(jī)器人還將開展海試。

　　這是長(zhǎng)三角科技創(chuàng)新共同體聯(lián)合攻關(guān)首批項(xiàng)目之一。自2021年起，三省一市逐步探索建立跨區(qū)域聯(lián)合攻關(guān)合作機(jī)制。2022年圍繞集成電路、人工智能兩大領(lǐng)域，共同部署實(shí)施了首批15項(xiàng)關(guān)鍵核心技術(shù)聯(lián)合攻關(guān)項(xiàng)目。2023年圍繞集成電路、人工智能、生物醫(yī)藥三大領(lǐng)域，共同部署實(shí)施了28項(xiàng)關(guān)鍵核心技術(shù)聯(lián)合攻關(guān)項(xiàng)目。通過協(xié)同發(fā)力，各展所長(zhǎng)，一批項(xiàng)目已取得積極進(jìn)展。

　　跨區(qū)域“加好友”，攻關(guān)企業(yè)“真需求”

　　長(zhǎng)三角科技創(chuàng)新共同體聯(lián)合攻關(guān)項(xiàng)目均始于“揭榜掛帥”——首先，聚焦制約國(guó)家重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵領(lǐng)域，三省一市科技廳(委)共同征集行業(yè)骨干企業(yè)的創(chuàng)新需求，組織行業(yè)專家開展需求評(píng)估，最終形成聯(lián)合攻關(guān)需求目錄進(jìn)行發(fā)布；然后，邀請(qǐng)長(zhǎng)三角乃至全國(guó)的高校、院所、企業(yè)帶著解決方案來“揭榜”；最終，企業(yè)自主選擇合作伙伴，組成創(chuàng)新聯(lián)合體申報(bào)聯(lián)合攻關(guān)項(xiàng)目，共同開展關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)。

　　清聯(lián)智控便是通過這種方式，加上了天津大學(xué)、上海某企業(yè)這兩位“好友”。“我們是一家研發(fā)運(yùn)載裝備和機(jī)器人的企業(yè)，之前成功開發(fā)出了露天礦山無人運(yùn)輸系統(tǒng)并已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化落地，這次我們希望研發(fā)出完全國(guó)產(chǎn)化的針對(duì)深海采礦場(chǎng)景的深海探測(cè)機(jī)器人�！鼻迓�(lián)智控總經(jīng)理徐彪說，帶著這一目標(biāo)，他們?cè)陂L(zhǎng)三角一體化科創(chuàng)云平臺(tái)上發(fā)布了需求，尋找水下裝備智能控制領(lǐng)域的優(yōu)勢(shì)團(tuán)隊(duì)開展合作。很快，多家高校和企業(yè)的團(tuán)隊(duì)趕來“揭榜”。

　　令徐彪感受頗深的是，此次聯(lián)合攻關(guān)真正體現(xiàn)了“以企業(yè)為主導(dǎo)”：企業(yè)自主發(fā)布需求、自主選擇伙伴、自主牽頭研發(fā)。“我們發(fā)布的需求是面向產(chǎn)業(yè)化提出的，是根據(jù)企業(yè)的市場(chǎng)定位和未來戰(zhàn)略決定的，攻關(guān)的技術(shù)都需要落地形成新產(chǎn)品，未來還要向市場(chǎng)廣泛推廣。”因此，在自主選擇合作伙伴時(shí)，企業(yè)基于兩點(diǎn)進(jìn)行了考慮，一是要有強(qiáng)大的技術(shù)能力，二是要在產(chǎn)業(yè)鏈上實(shí)現(xiàn)互補(bǔ)。

　　經(jīng)過對(duì)方案的比對(duì)、對(duì)“揭榜”團(tuán)隊(duì)的考察，清聯(lián)智控最終選擇了天津大學(xué)和上海某企業(yè)。天津大學(xué)的金東寒院士團(tuán)隊(duì)，在水下智能裝備的算法和關(guān)鍵技術(shù)方面具有優(yōu)勢(shì)；上海某企業(yè)則是國(guó)內(nèi)水下大型作業(yè)機(jī)器人的頭部企業(yè)，在整機(jī)集成方面具有豐富的經(jīng)驗(yàn)，尤其在深海裝備領(lǐng)域的應(yīng)用上，其機(jī)器人的結(jié)構(gòu)以及耐壓等方面技術(shù)都非常優(yōu)秀。

　　一個(gè)跨區(qū)域互補(bǔ)的創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)迅速組建起來，于2023年初共同開展“智能水下裝備關(guān)鍵技術(shù)集成與應(yīng)用”聯(lián)合攻關(guān)：天津大學(xué)負(fù)責(zé)理論和算法的開發(fā)，清聯(lián)智控負(fù)責(zé)關(guān)鍵系統(tǒng)和裝備的研發(fā)，上海某企業(yè)負(fù)責(zé)整機(jī)集成及測(cè)試�！澳壳拔覀円呀�(jīng)開發(fā)完成一系列關(guān)鍵裝備，如感知定位單元和智能控制單元等，整機(jī)也已經(jīng)集成完畢，完成了湖泊測(cè)試，接下來還會(huì)進(jìn)行海試�！毙毂胝f，在湖泊測(cè)試中，進(jìn)行的是單個(gè)機(jī)器人的勘探，在海試中，將會(huì)使用多個(gè)機(jī)器人協(xié)同開展勘探作業(yè)的試驗(yàn)�！拔覀兊哪繕�(biāo)是，讓這款機(jī)器人深入海下3000—6000米，進(jìn)行深海環(huán)境勘察，探明海底多金屬結(jié)核礦的分布情況，為我國(guó)打造未來深海采礦的智能裝備。”

　　瞄準(zhǔn)“科創(chuàng)+產(chǎn)業(yè)”，組建創(chuàng)新共同體

　　長(zhǎng)三角聯(lián)合攻關(guān)項(xiàng)目的一大特點(diǎn)，便是以“科創(chuàng)+產(chǎn)業(yè)”為引領(lǐng)，聚焦國(guó)家重大創(chuàng)新需求，加快推動(dòng)關(guān)鍵核心技術(shù)聯(lián)合攻關(guān)�！奥�(lián)合攻關(guān)項(xiàng)目鼓勵(lì)企業(yè)跨區(qū)域組建創(chuàng)新聯(lián)合體，協(xié)同開展技術(shù)攻關(guān)，著力增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈自主可控能力�！笔】萍紡d相關(guān)負(fù)責(zé)人說。

　　高端MEMS微壓壓力傳感器，在航空航天、醫(yī)療電子、工業(yè)控制等領(lǐng)域應(yīng)用前景廣闊，比如用于航空艙內(nèi)余壓監(jiān)測(cè)和控制，保障送排風(fēng)系統(tǒng)的智能運(yùn)行；用于呼吸機(jī)、監(jiān)護(hù)儀、麻醉機(jī)等，保證醫(yī)療設(shè)備的正常工作。但是，其制備難度遠(yuǎn)超一般量程的壓力傳感器，目前我國(guó)仍依賴進(jìn)口或降檔使用�！盀榱嗽缛胀瓿筛叨薓EMS微壓壓力傳感器的技術(shù)與生產(chǎn)的突破，掌握創(chuàng)新和發(fā)展的主動(dòng)權(quán)，我們發(fā)布了相關(guān)合作需求。”無錫中微晶園電子有限公司副總經(jīng)理王濤說。

　　發(fā)榜之后，中微晶園從眾多揭榜單位中選擇了上海交通大學(xué)和西安電子科技大學(xué)的2個(gè)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，“我們本身是國(guó)家級(jí)專精特新‘小巨人’企業(yè)，和這兩個(gè)實(shí)驗(yàn)室一起組建創(chuàng)新聯(lián)合體后，整個(gè)團(tuán)隊(duì)在理論研究、器件設(shè)計(jì)、器件制備、測(cè)試和可靠性技術(shù)方面就‘配齊’了。”王濤介紹，團(tuán)隊(duì)研究骨干中有“華山學(xué)者”特聘教授1人、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司首席專家1人以及多名中青年高級(jí)研究人員，聚集了國(guó)內(nèi)在MEMS設(shè)計(jì)、制備、評(píng)價(jià)方面優(yōu)秀的產(chǎn)學(xué)研隊(duì)伍。

　　組建好創(chuàng)新聯(lián)合體，通過項(xiàng)目答辯獲得政府立項(xiàng)后，“高端MEMS微壓壓力傳感器”聯(lián)合攻關(guān)項(xiàng)目被分解成3個(gè)課題同步推進(jìn)：上海交通大學(xué)承擔(dān)課題一“輻照級(jí)高精度MEMS微壓壓力傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與仿真技術(shù)研究”，中微晶園承擔(dān)課題二“輻照級(jí)高精度MEMS微壓壓力傳感器關(guān)鍵制備技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化研究”，西安電子科技大學(xué)承擔(dān)課題三“輻照級(jí)高精度MEMS微壓壓力傳感器性能及可靠性研究”。每個(gè)課題均由團(tuán)隊(duì)科研骨干領(lǐng)銜，從技術(shù)底層進(jìn)行攻關(guān)。

　　“我們于2023年4月開始啟動(dòng)聯(lián)合攻關(guān)，目前已經(jīng)完成了MEMS壓力傳感器輻照效應(yīng)和抑制方法研究，突破了MEMS特種低應(yīng)力介質(zhì)層淀積、低缺陷高質(zhì)量薄膜生長(zhǎng)、高精度低損傷摻雜等關(guān)鍵工藝技術(shù)，預(yù)計(jì)今年將完成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的輻照級(jí)高精度MEMS微壓壓力傳感器芯片初樣研制�！蓖鯘�說，攻關(guān)團(tuán)隊(duì)最終的目標(biāo)，是研制出高性能的抗輻照微壓壓力傳感器，并建立輻照級(jí)高精度MEMS微壓壓力傳感器加工平臺(tái)，建設(shè)一支專業(yè)的產(chǎn)業(yè)化技術(shù)隊(duì)伍，力爭(zhēng)成為國(guó)內(nèi)高端壓力傳感器研發(fā)與加工中心。

　　對(duì)此，整個(gè)團(tuán)隊(duì)信心滿滿。在王濤看來，聯(lián)合攻關(guān)項(xiàng)目迅速、精準(zhǔn)地組織了長(zhǎng)三角區(qū)域的優(yōu)勢(shì)科研力量，創(chuàng)建起跨學(xué)科、跨領(lǐng)域、跨區(qū)域創(chuàng)新聯(lián)合體，有效推動(dòng)了項(xiàng)目、人才、平臺(tái)、資金的一體化配置，加快了研發(fā)進(jìn)程，“我們希望用2—3年時(shí)間完成這個(gè)目標(biāo)，合力推動(dòng)重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵核心技術(shù)實(shí)現(xiàn)自主可控�！�

　　緊盯國(guó)際科技前沿，觸摸新質(zhì)生產(chǎn)力脈動(dòng)

　　“這些項(xiàng)目的實(shí)施，意味著三省一市共同推動(dòng)長(zhǎng)三角科技創(chuàng)新共同體聯(lián)合攻關(guān)邁出實(shí)質(zhì)性步伐，初步實(shí)現(xiàn)了部省聯(lián)動(dòng)、資金聯(lián)合、管理聯(lián)通�！笔】萍紡d相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，2022年項(xiàng)目中江蘇牽頭3項(xiàng)，項(xiàng)目總投入達(dá)1.8億元；2023年項(xiàng)目中江蘇牽頭8項(xiàng)，項(xiàng)目總投入2.4億元。項(xiàng)目數(shù)和總投入均居三省一市首位。

　　基于高性能AI芯片的新型算力系統(tǒng)、智能化的新型核酸藥物設(shè)計(jì)與遞送系統(tǒng)……目前，長(zhǎng)三角科技創(chuàng)新共同體聯(lián)合攻關(guān)項(xiàng)目均圍繞集成電路、生物醫(yī)藥、人工智能等重點(diǎn)領(lǐng)域和關(guān)鍵環(huán)節(jié)展開，這其中孕育著未來高技術(shù)產(chǎn)業(yè)，已可以觸摸到新質(zhì)生產(chǎn)力的脈動(dòng)。

　　“我們做深海機(jī)器人，就是培育自己的未來產(chǎn)業(yè)，這對(duì)我們企業(yè)而言就是新質(zhì)生產(chǎn)力。”徐彪說，深海資源非常豐富，有色金屬如錳、銅、鎳、鈷等，僅在太平洋海底存在，且相當(dāng)于陸地上的幾十到幾千倍的儲(chǔ)量。近年來新能源電池應(yīng)用的增加，也推動(dòng)了這些金屬需求的擴(kuò)大。深海礦產(chǎn)資源開采的產(chǎn)業(yè)化，需要深海智能裝備去支撐。從目前來看，在全球范圍內(nèi)深海礦產(chǎn)資源尚未進(jìn)行商業(yè)化開采，但是最多8年后，該領(lǐng)域的市場(chǎng)將變得成熟。面對(duì)未來各國(guó)對(duì)深海礦產(chǎn)資源的爭(zhēng)奪，必須提前完成技術(shù)儲(chǔ)備�！懊看�產(chǎn)品都會(huì)經(jīng)歷成熟期到下降期，等露天礦山無人運(yùn)輸系統(tǒng)到成熟期時(shí)，我們企業(yè)便可以轉(zhuǎn)向深海采礦機(jī)器人這類新產(chǎn)品。目前我們這個(gè)創(chuàng)新聯(lián)合體就是在為這一未來產(chǎn)業(yè)做技術(shù)儲(chǔ)備�！�

　　王濤告訴記者，通過聯(lián)合攻關(guān)，將有望突破輻照級(jí)高精度MEMS微壓壓力傳感器芯片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、制備及工程化關(guān)鍵核心技術(shù)，研制出滿足航空航天、醫(yī)療電子、智慧工業(yè)等壓力感控裝置亟需的核心MEMS壓力傳感器件，成果產(chǎn)品未來可用于高可靠的航空航天領(lǐng)域，進(jìn)行艙壓、液壓、真空度等微壓力監(jiān)測(cè)與控制，還可應(yīng)用于智慧城市相關(guān)裝置中，實(shí)時(shí)進(jìn)行樓宇消防系統(tǒng)遠(yuǎn)程監(jiān)控和余壓報(bào)警，保障生命健康安全�！肮リP(guān)產(chǎn)品的技術(shù)創(chuàng)新突破和成功研制，必將提振我國(guó)在微弱壓力信號(hào)感知、高性能MEMS壓力傳感器產(chǎn)業(yè)的實(shí)力，為相關(guān)領(lǐng)域加速形成新質(zhì)生產(chǎn)力夯實(shí)技術(shù)基礎(chǔ)�！�

　　記者 蔡姝雯